[发明专利]一种具有预退火功能的匀胶机有效
申请号: | 201310469862.4 | 申请日: | 2013-10-10 |
公开(公告)号: | CN103495529A | 公开(公告)日: | 2014-01-08 |
发明(设计)人: | 黄志明;欧阳程;周炜;吴敬;高艳卿;龙芳;褚君浩 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海技术物理研究所 |
主分类号: | B05C9/14 | 分类号: | B05C9/14;B05C5/02;B05C11/00;B05C11/08;B05C11/10 |
代理公司: | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人: | 郭英 |
地址: | 200083 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明公开了一种具有预退火功能的匀胶机,它包括注胶装置,加热装置,散热装置和匀胶机四部分。注胶装置将手动滴胶过程简化为常闭型水阀的简单开关动作的控制过程,提高了滴胶效率,避免经验化滴胶可能带来的问题。加热装置用于对样品进行加热,实现薄膜的低温预退火功能。散热装置用于为匀胶机内胆降温,并促进加热装置内外的热量和气体交换,排出经加热后逸出的有机物质。匀胶机用于实现薄膜制备时的甩胶操作。本发明装置可将溶胶-凝胶法的滴胶-甩胶-低温预退火制备薄膜的实验流程,简化为多次重复滴胶-甩胶-低温预退火后使用快速退火炉集中高温热处理制备薄膜的实验流程,缩短制膜时间,大幅提高了制膜效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 具有 退火 功能 匀胶机 | ||
【主权项】:
一种具有预退火功能的匀胶机,包括注胶装置,加热装置,散热装置和匀胶机四部分,其特征在于:所述的匀胶机(1)用于固定衬底片并旋涂溶胶;匀胶机(1)左侧为注胶装置,活塞塑料注射器(11)和磨砂质玻璃注射器(10)分别用来汲取和寄存溶胶,Y型三通(6)连接第一单向止水阀(4)、常闭式水阀(5)、储液瓶(8)、磨砂质玻璃注射器(10)、活塞塑料注射器(11)和第二单向止水阀(12),利用两个单向止水阀(4,12)来控制液体流动方向;滴管(3)固定在二维平移台上,利用升降台和二维平移台(7)控制滴胶口的方位;在磨砂质玻璃注射器(10)的推杆上添加合适重量的砝码(9),依靠砝码(9)的重力将推杆下压,从而将溶胶从滴管中逐滴挤出到衬底片上;利用乳胶管连接Y型三通(6)和第一单向止水阀(4)两部分,并在中间设计常闭式水阀(5),通过手动调节常闭式水阀(5)的开关状态可控制滴管的滴胶过程;匀胶机(1)上方为加热装置,用220V交流电(22)为275W红外灯(14)提供电压,通过触点开关(15)、继电器(16)和限流电阻(17)控制红外灯的实际功率,进而控制样品的预退火温度,实现薄膜的预退火功能;红外灯(22)靠近时,触点开关(15)闭合,限流电阻(17)被短路,红外灯(22)功率达到最大,衬底表面温度可达到230‑250℃,所涂覆薄膜中的有机物质将在数十秒内全部逸出或烧尽;红外灯(22)远离时,触点开关(15)断开,限流电阻(17)接入,红外灯(22)功率减小变暗,可进行涂膜操作;注胶装置右侧为散热装置,储水盒(20)用于存储散热用水,潜水泵(21)使水在铜管中循环;冷却水通过潜水泵(21)流经环绕于内胆的散热铜管(13)为匀胶机内胆降温,经散热水排(19)将内胆的热量散开,从而对水进行降温, 并促进加热装置内外的热量和气体交换,排出经加热后逸出的有机物质。
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B05 一般喷射或雾化;对表面涂覆液体或其他流体的一般方法
B05C 一般对表面涂布液体或其他流体的装置
B05C9-00 把液体或其他流体涂于表面的装置或设备,所采用的方法未包含在B05C 1/00至B05C 7/00组,或表面涂布液体或其他流体的方法不是重要的
B05C9-02 .对表面涂布液体或其他流体采用B05C 1/00至B05C 7/00中未包含的一个方法,不论是否还使用其他的方法
B05C9-04 .对工件的相对面涂布液体或其他流体
B05C9-06 .对工件的同一个面要求涂布两种不同的液体或其他流体,或者用同一种液体或其他流体涂布二次
B05C9-08 .涂布液体或其他流体并完成辅助操作
B05C9-10 ..在涂布之前完成辅助操作
B05C 一般对表面涂布液体或其他流体的装置
B05C9-00 把液体或其他流体涂于表面的装置或设备,所采用的方法未包含在B05C 1/00至B05C 7/00组,或表面涂布液体或其他流体的方法不是重要的
B05C9-02 .对表面涂布液体或其他流体采用B05C 1/00至B05C 7/00中未包含的一个方法,不论是否还使用其他的方法
B05C9-04 .对工件的相对面涂布液体或其他流体
B05C9-06 .对工件的同一个面要求涂布两种不同的液体或其他流体,或者用同一种液体或其他流体涂布二次
B05C9-08 .涂布液体或其他流体并完成辅助操作
B05C9-10 ..在涂布之前完成辅助操作