[发明专利]一种弹性探针阵列多通道电阻测量方法和装置无效
| 申请号： | 201310422062.7 | 申请日： | 2013-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN103472304A | 公开（公告）日： | 2013-12-25 |
| 发明（设计）人： | 金魁;袁洁;许波 | 申请（专利权）人： | 金魁 |
| 主分类号： | G01R27/02 | 分类号： | G01R27/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种兼容于温度、磁场平台的弹性探针阵列多通道电阻测量方法以及探针装置，所述测量方法包括：测量时将弹性探针阵列直接紧压在样品上，置入温度或磁场测量平台；使用四探针Van der Pauw法，每四个探针为一组可同时获得2n个区域的局部电阻率随温度或磁场的变化曲线。本发明的方法可实现多通道的同时测量，提高测量效率及实现微区测量，最终实现密集分布组分输运特性的测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 弹性 探针 阵列 通道 电阻 测量方法 装置 | ||
【主权项】：
一种兼容于温度、磁场平台的弹性探针阵列多通道电阻测量方法，包括如下步骤：一.测量时将弹性探针阵列直接紧压在样品上，置入温度或磁场测量平台；以及二.使用四探针Van der Pauw法，每四个探针为一组可同时获得2n个区域的局部电阻率随温度或磁场的变化曲线。
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