[发明专利]波长连续可调的高稳定宽带紫外光源发射装置

摘要

本发明提出一种波长连续可调的高稳定宽带紫外光源发射装置，包括：积分球，包括进光口和出光口，用于将由进光口照射的光线进行混合，并由出光口发射；至少一个紫外光源；准直管；衍射装置，包括光栅，光栅位于准直管的另一端，以将由多个相互平行的出光管传输的平行光反射为预定方向的平行光；汇聚透镜，用于将预定方向的平行光进行汇聚；壳体，光栅和汇聚透镜设置在壳体内，壳体包括出射狭缝，出射狭缝用于发射由汇聚透镜汇聚后的出射光。本发明的实施例能够在较宽的紫外波段内实现对出射光的谱带中心位置和谱带宽度的连续调节，有效地避免无用的谱带产生的干扰，且该装置还具有结构简单可靠、光路稳定，操作简单的优点。

主权项

一种波长连续可调的高稳定宽带紫外光源发射装置，其特征在于，包括：积分球，所述积分球包括进光口和出光口，用于将由所述进光口照射的光线进行混合，并由所述出光口发射；至少一个紫外光源，所述至少一个紫外光源位于所述进光口；准直管，所述准直管的一端与所述出光口相连，所述准直管包括多个相互平行的出光管；衍射装置，所述衍射装置包括光栅，所述光栅位于所述准直管的另一端，以将由所述多个相互平行的出光管传输的平行光反射为预定方向的平行光；汇聚透镜，所述汇聚透镜用于将所述预定方向的平行光进行汇聚；以及壳体，所述光栅和所述汇聚透镜设置在所述壳体内，所述壳体包括出射狭缝，所述出射狭缝用于发射由所述汇聚透镜汇聚后的出射光。