[发明专利]探针阻抗匹配方法在审
| 申请号： | 201310413104.0 | 申请日： | 2013-09-11 |
| 公开（公告）号： | CN104422797A | 公开（公告）日： | 2015-03-18 |
| 发明（设计）人： | 李心贤;方子正 | 申请（专利权）人： | 世鼎科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/067 | 分类号： | G01R1/067;H01L21/02 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 李昕巍;赵根喜 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种探针阻抗匹配方法。首先，提供具有一初始阻抗值的一探针半成品，该探针半成品包含一接地层、一基板及一探针层，该接地层与该探针层由该基板绝缘地间隔开。接着，形成一具特定介电常数的介电层于该基板及该探针层之上，以使该初始阻抗值降低至一目标阻抗值。故借由本发明的阻抗匹配调整方法，便可使探针具有所需的特性阻抗。 | ||
| 搜索关键词： | 探针 阻抗匹配 方法 | ||
【主权项】：
一种探针阻抗匹配方法，包含：提供一探针半成品，该探针半成品包含一接地层、一基板及一探针层，该接地层与该探针层由该基板绝缘地间隔开，该探针半成品具有一初始阻抗值；及形成至少一介电层于该基板及该探针层之上，以使该初始阻抗值降低至一目标阻抗值。
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