[发明专利]钛铝铬合金靶材及其制备方法在审
申请号: | 201310412855.0 | 申请日: | 2013-09-11 |
公开(公告)号: | CN104419847A | 公开(公告)日: | 2015-03-18 |
发明(设计)人: | 王铁军;唐培新;张路长;孙继洲;郝权;赵雷;何向晖 | 申请(专利权)人: | 安泰科技股份有限公司 |
主分类号: | C22C14/00 | 分类号: | C22C14/00;C22C21/00;C22C30/00;C22C1/04;C23C14/34 |
代理公司: | 北京五洲洋和知识产权代理事务所(普通合伙) 11387 | 代理人: | 刘春成;张向琨 |
地址: | 100081 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明提供了一种钛铝铬合金靶材及其制备方法。该合金靶材按原子百分比由以下成分组成:钛5-75%,铝10-90%,铬1-20%。其制备方法包括:制备合金粉末、冷等静压处理、脱气处理、热等静压处理以及机加工步骤。本发明的钛铝铬合金靶材具有致密度高、无气孔和偏析,组织均匀,晶粒细小等优点,适用于多种刀具、模具涂层溅射使用。 | ||
搜索关键词: | 钛铝铬 合金 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种钛铝铬合金靶材,其特征在于,按原子百分比由以下成分组成:钛5‑75%,铝10‑90%,铬1‑20%。
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