[发明专利]一种磁传感装置的制备工艺

摘要

本发明揭示了一种磁传感装置的制备工艺，所述装置包括第三方向磁传感部件，第三方向磁传感部件包括基底、导磁单元、感应单元；基底表面开有沟槽；导磁单元的主体部分设置于沟槽内，用以收集第三方向的磁场信号，并将该磁信号输出到感应单元进行测量；感应单元设置于所述基底表面上，用以接收所述导磁单元输出的第三方向的磁信号，并根据该磁信号测量出第三方向对应的磁场强度及磁场方向；感应单元包括磁性材料层及设置于磁性材料层上的金属电极层；一个感应单元包括两个相邻的梳齿状电极，位于一个沟槽中的导磁单元与多个感应单元相配合。本发明通过一根磁导单元给两对以上感应单元的梳齿状电极提供磁信号，得到的器件具有更强的灵敏度。

主权项

一种磁传感装置，其特征在于，所述装置包括第三方向磁传感部件，该第三方向磁传感部件包括：基底，其表面开有沟槽，沟槽的长度是宽度的五倍以上；导磁单元，其主体部分设置于沟槽内，并有部分露出沟槽至基底表面，用以感应第三方向的磁信号，并将该磁信号输出到感应单元进行测量；感应单元，设置于所述基底表面上，所述感应单元能直接测量第一方向或/和第二方向的磁场，结合导磁单元输出的磁信号，能测量被导磁单元引导到第一方向或/和第二方向的第三方向磁场；第一方向、第二方向、第三方向两两相互垂直；所述感应单元包括磁性材料层及设置于磁性材料层上的金属电极层；一个感应单元包括两个相邻的梳齿状电极，位于一个沟槽中的导磁单元与多个感应单元相配合；在感应层上方形成的梳齿状电极的间距小于一根导磁单元的长度，即一根导磁单元至少为两对梳齿状电极提供感应的磁信号；感应单元与导磁单元之间有缝隙；绝缘层单元，设置于在磁性材料层上的部分区域、导磁单元上及沟槽内；金属层单元，设置于沟槽内的绝缘层单元上，金属层单元是由刻蚀感应单元的金属电极时自然地在沟槽内的绝缘层上，从而形成；金属层单元用以实现自检测作用，即通过在自检测的金属上施加电流，产生垂直于基底平面的磁场，从而实现自检测；在自检测的过程中，在沟槽内的金属层单元两端施加电流，即能在沟槽侧壁上产生平行于沟槽侧壁的磁场，金属层单元两端指分别设置于沟槽的两个侧壁；而这个磁场被导磁单元送入感应单元，进而在感应单元的输出端口输出磁场信号，通过比较该磁场信号与施加电流的关系，起到对Z轴磁传感器评价、自检测的效果。