[发明专利]膜层铺设装置及使用该装置的膜层铺设方法在审
| 申请号： | 201310400271.1 | 申请日： | 2013-09-05 |
| 公开（公告）号： | CN103439825A | 公开（公告）日： | 2013-12-11 |
| 发明（设计）人： | 程全 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/1333 | 分类号： | G02F1/1333;G02F1/1347 |
| 代理公司： | 广东广和律师事务所 44298 | 代理人： | 刘敏 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种膜层铺设装置，其包括喷墨器、承载板及加热器。所述承载板用于承载需要铺设膜层的基板。所述喷墨器按照预设的喷涂量及步进速率在所述基板上喷涂膜层材料。所述加热器在喷涂膜层材料的过程中将所述膜层材料加热至预设温度范围以降低膜层材料的表面张力差异而造成的扩散不均。本发明还提供一种使用该装置的膜层铺设方法。 | ||
| 搜索关键词： | 铺设 装置 使用 方法 | ||
【主权项】：
一种膜层铺设装置(1)，其包括喷墨器(10)、承载板(12)及加热器(14)，所述承载板(12)用于承载需要铺设膜层的基板(2)，所述喷墨器(10)按照预设的喷涂量及步进速率在所述基板(2)上喷涂膜层材料(3)，所述加热器(14)在喷涂膜层材料(3)的过程中将所述膜层材料(3)加热至预设温度范围以降低膜层材料(3)的表面张力差异而造成的扩散不均。
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