[发明专利]纳米定位装置及系统无效
| 申请号： | 201310384594.6 | 申请日： | 2013-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN103481321A | 公开（公告）日： | 2014-01-01 |
| 发明（设计）人： | 于海利;李晓天;唐玉国;齐向东;于宏柱;杨超 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | B26D7/00 | 分类号： | B26D7/00;B26D5/00;B26D3/08 |
| 代理公司： | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人： | 王丹阳 |
| 地址： | 130033 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种纳米定位装置及系统，属于光栅刻划机械自动控制领域，解决了现有技术中纳米定位装置的摆角调节幅值上限和调节精度受性能参数限制，纳米定位系统的数据采集控制模块开发难度大的技术问题。本发明的纳米定位装置包括基座，宏定位平台，第一导向导轨，第二导向导轨，微定位平台，压电陶瓷，第一激光干涉位移检测机构和第二激光干涉位移检测机构；所述压电陶瓷的一端固定于宏定位平台，另一端与微定位平台摩擦接触，宏定位平台沿第一导向导轨和第二导向导轨滑动，压电陶瓷驱动微定位平台产生位移量。本发明还提供应用上述纳米定位装置的纳米定位系统。本发明的纳米定位装置与系统具有较大的摆角调节幅值上限和调节灵活度。 | ||
| 搜索关键词： | 纳米 定位 装置 系统 | ||
【主权项】：
纳米定位装置，包括：基座(100)；宏定位平台(10)；对称设定于宏定位平台(10)下表面左右两端的第一导向导轨(41)和第二导向导轨(42)；设定于宏定位平台(10)上表面的微定位平台(20)；压电陶瓷(30)；平行设置的第一激光干涉位移检测机构(71)和第二激光干涉位移检测机构(72)；所述第一导向导轨(41)，第二导向导轨(42)，第一激光干涉位移检测机构(71)和第二激光干涉位移检测机构(72)均固定于所述基座(100)上，所述宏定位平台(10)与所述微定位平台(20)通过弹簧片固定连接，所述压电陶瓷(30)的一端固定于宏定位平台(20)，另一端与微定位平台(20)摩擦接触，所述宏定位平台(10)沿所述第一导向导轨(41)和第二导向导轨(42)滑动，所述压电陶瓷(30)驱动微定位平台(20)产生位移量。
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