[发明专利]缩短边角长晶时间的多晶硅铸锭工艺无效
| 申请号： | 201310373487.3 | 申请日： | 2013-08-23 |
| 公开（公告）号： | CN103469302A | 公开（公告）日： | 2013-12-25 |
| 发明（设计）人： | 谭毅;李鹏廷;王峰;安广野;姜大川;熊华江;黄佳琪 | 申请（专利权）人： | 青岛隆盛晶硅科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/06 | 分类号： | C30B28/06;C30B33/02;C30B29/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 266234 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明属于多晶硅铸锭领域，具体涉及一种缩短边角长晶时间的多晶硅铸锭工艺，包括装料抽真空并预热、熔化保温、长晶、退火、降温和开方，其中，长晶包括中央长晶阶段和边角长晶阶段，其特征在于边角长晶阶段进行到1/4～1/6时即进行下一步的退火阶段。本发明的优点在于：（1）通过缩短边角长晶阶段的时间，提前进入退火阶段，有效的缩短了整个工艺时间2～3h，并且还能有效防止铸锭顶部杂质的反扩散，提高多晶硅铸锭的质量；（2）由于工艺时间的缩短，减少了电力和人力成本的支出，使得整个铸锭工艺的成本降低5%左右。 | ||
| 搜索关键词： | 缩短 边角 时间 多晶 铸锭 工艺 | ||
【主权项】：
一种缩短边角长晶时间的多晶硅铸锭工艺，包括装料抽真空并预热、熔化保温、长晶、退火、降温和开方，其中，长晶包括中央长晶阶段和边角长晶阶段，其特征在于边角长晶阶段进行到1/4～1/6时即进行下一步的退火阶段。
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