[发明专利]一种嵌套式菱形放大二维精密定位平台

摘要

本发明公开了一种嵌套式菱形放大二维精密定位平台，通过在一个平面内将第二轴定位平台固定于第一轴定位平台的运动平台上，采用嵌套结构实现二维定位平台的精密定位，且运动方向呈90度分布，避免并联时两个轴运动的耦合误差，也在竖直方向上拥有更大的空间，结构更加紧凑。且放大机构采用菱形机构，放大量可为压电陶瓷变化量的3-5倍，有效地提高了运动范围的放大倍数，且避免其他放大机构所带来的累积误差与角度误差，实现定位平台大范围内的精确定位。另外，通过采用平行板柔性铰链对运动平台起到导向和辅助作用，并且在平行板柔性铰链的保护下，运动平台保持运动方向的一致性，避免出现垂直于运动方向的任何运动以及外力的破坏。

主权项

一种嵌套式菱形放大二维精密定位平台，其特征在于，包括基座、与固定设置于所述基座上的第一轴定位平台与第二轴定位平台，所述第一轴定位平台包括第一组动力机构与第一运动平台，所述第一组动力机构驱动所述第一运动平台水平移动；所述第二轴定位平台包括第二组动力机构与第二运动平台，所述第二组动力机构驱动所述第二运动平台水平移动，所述第二轴定位平台固定设置于所述第一运动平台上，与所述第一运动平台同步移动；所述第一、第二组动力机构分别包括放大机构与压电陶瓷，所述放大机构为菱形放大机构，所述压电陶瓷压紧固定于所述放大机构内部，所述压电陶瓷的两端对应于所述放大机构对称的两个顶点。