[发明专利]区熔炉多晶棒保温装置及其保温方法

摘要

本发明涉及半导体制造领域，旨在提供区熔炉多晶棒保温装置及其保温方法。该区熔炉多晶棒保温装置包括设置在多晶棒外部的辅助加热器，辅助加热器的两个端部分别设有接口，接口通过电缆与辅助加热电源相连，辅助加热电源通过信号线依次连接有数据分析模块和红外测温仪；利用该区熔炉多晶棒保温装置对多晶棒进行保温时，红外测温仪实时监测多晶棒下端的温度，数据分析模块通过内置的判断模块来控制辅助加热电源施加在辅助加热器上的电流大小。本发明对多晶棒实现保温，而省去对多晶棒的缓慢冷却和预热过程，一次可节省生产时间一个小时以上，节约电能，并降低多晶棒开裂的风险。

主权项

区熔炉多晶棒保温装置，多晶棒在区熔炉的主加热线圈的上方，单晶棒在主加热线圈的下方，且多晶棒和单晶棒通过主加热线圈中心的圆孔相熔接，其特征在于，区熔炉多晶棒保温装置包括至少一个设置在多晶棒外部的辅助加热器，辅助加热器的两个端部分别设有接口，接口通过电缆与辅助加热电源相连，辅助加热电源用于对辅助加热器施加电流，通有电流的辅助加热器能对多晶棒实现保温；辅助加热电源通过信号线依次连接有数据分析模块和红外测温仪，红外测温仪用于实时监测多晶棒下端的温度，并将测得的温度数据传送给数据分析模块，数据分析模块用于通过判断红外测温仪传送来的温度数据，控制辅助加热电源施加在辅助加热器上的电流大小；所述辅助加热器采用热辐射方式的辅助加热器、使多晶棒感应加热方式的辅助加热器中任意一种辅助加热器或者两种辅助加热器组合的装置；所述区熔炉多晶棒保温装置能省去对多晶棒的缓慢冷却和预热过程：通过辅助加热器对多晶棒进行保温，当单晶棒生长过程意外终止时，在进行必要的准备工作后，即可直接开始下一次生长过程。