[发明专利]涡轮分子泵

摘要

本发明公开了一种涡轮分子泵，其包括泵体、主轴、涡轮转子、电机以及静涡轮级，其中，电机包括电机定子和电机转子，电机转子和电机定子为中部具有通孔的盘形结构，电机转子和电机定子通过各自通孔先后套设在主轴上，电机转子与电机定子盘面相对，且电机定子固定不动，电机转子固定设置在主轴与涡轮转子的连接处，以使电机定子与电机转子形成的旋转动力源位于或者接近主轴与涡轮转子形成的轴系转子的质心处，从而使得本发明的涡轮分子泵运转时动不平衡降低，振动较小，提高了涡轮分子泵的运行可靠性。

主权项

一种涡轮分子泵，包括泵体（10）；主轴（7），可旋转的设置在所述泵体（10）内，且所述主轴（7）的旋转中心与所述泵体（10）的中心线重合；涡轮转子（4），设于所述泵体（10）内，其中轴线与所述主轴（7）旋转中心重合,且所述涡轮转子（4）与所述主轴（7）固定连接形成轴系转子；电机，包括电机定子（1）和电机转子（2），所述电机转子（2）与所述轴系转子联动设置；静涡轮级（5），与所述涡轮转子（4）交替配合设置；其特征在于:所述涡轮转子（4）包括本体（41）以及沿所述本体（41）四周成型的旋转叶片（42），所述本体（41）呈中空的碗式结构，倒扣在所述主轴（7）上，其碗底厚，碗壁薄，且碗壁厚度自碗底至碗口处越来越薄；所述电机转子（2）、所述电机定子（1）为中部具有通孔的盘形结构，所述电机转子（2）和所述电机定子（1）通过各自所述通孔先后套设在所述主轴（7）上，所述电机转子（2）与所述电机定子（1）盘面相对，且所述电机定子（1）固定不动，所述电机转子（2）固定设置在所述主轴（7）与所述涡轮转子的连接处，以使所述电机定子（1）与所述电机转子（2）形成的旋转动力源位于或者接近所述主轴（7）与所述涡轮转子（4）形成的轴系转子的质心处。