[发明专利]一种快速、简便识别多晶硅片质量的方法无效
| 申请号： | 201310348283.4 | 申请日： | 2013-08-12 |
| 公开（公告）号： | CN103398939A | 公开（公告）日： | 2013-11-20 |
| 发明（设计）人： | 刘晓兵;赵福祥;朱琛;张芳芳;李秉喆;洪定义 | 申请（专利权）人： | 韩华新能源（启东）有限公司 |
| 主分类号： | G01N17/00 | 分类号： | G01N17/00 |
| 代理公司： | 南通市永通专利事务所 32100 | 代理人： | 葛雷 |
| 地址： | 226200 江苏省南*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种快速、简便识别多晶硅片质量的方法。用HNO3和HF配置腐蚀溶液，将所要检测的多晶硅片，浸没到腐蚀溶液中进行腐蚀。腐蚀过程中，硅片加以摆动，使硅片表面腐蚀更加均匀。腐蚀完成后，将硅片放入纯水中清洗，清洗掉硅片表面残留的酸液。将硅片吹干后，根据硅片表面黑色区域面积大小，即硅片上高密度位错群面积比例，从而判定出硅片质量。该方法设计合理，能够快速、简便识别出多晶硅片的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 快速 简便 识别 多晶 硅片 质量 方法 | ||
【主权项】：
一种快速、简便识别多晶硅片质量的方法，其特征是：将多晶硅片经过腐蚀液处理后，根据硅片表面情况，判别出硅片的质量。
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