[发明专利]设备平台系统及其晶圆传输方法

摘要

本发明的用于晶圆处理工艺的设备平台系统及其晶圆传输方法，包括工作平台，其每个侧面用于挂载工艺腔；置顶式晶圆装载装置，固定于工作平台的上表面，包括：晶圆盒装载单元；晶圆装载单元，相对于晶圆盒装载单元设置，其具有内部空腔；中央机械手，位于晶圆盒装载单元和晶圆装载单元之间；装载门，用于封闭或打开内部空腔；晶圆托架，位于内部空腔中；关断门，位于内部空腔底部，用于将工作平台内部打开或封闭住；工作平台的顶部具有开口，位于内部空腔下方，与关断门相对，关断门能够将该开口封闭住。本发明的设备平台系统，减小了占地面积，提高了空间利用率和晶圆传输效率。

主权项

一种用于晶圆处理工艺的设备平台系统，其特征在于，包括：工作平台，所述工作平台的每个侧面用于挂载工艺腔；置顶式晶圆装载装置，固定于所述工作平台的上表面；所述置顶式晶圆装载装置包括：晶圆盒装载单元，位于所述晶圆装载装置中，用于装载晶圆盒；晶圆装载单元，相对于所述晶圆盒装载单元设置，所述晶圆装载单元具有内部空腔，用于装载晶圆；中央机械手，具有可旋转机械臂，所述中央机械手位于所述晶圆盒装载单元和所述晶圆装载单元之间，用于支撑所述可旋转机械臂；其中，所述可旋转机械臂设置于所述中央机械手上，以所述中央机械手为中心旋转，用于在所述晶圆盒装载单元和所述晶圆装载单元之间进行对晶圆的输送。装载门，位于所述晶圆装载单元上，与所述晶圆盒装载单元相对，通过所述装载门的启闭，所述晶圆装载单元的内部空腔被打开或封闭住；晶圆托架，可进行上下移动，位于所述内部空腔中，用于将所述晶圆在所述内部空腔和所述工作平台的内部进行传输；关断门，设置于所述内部空腔的底部，通过启闭所述关断门，能够同时将所述内部空腔和所述工作平台内部打开或封闭住，从而使所述工作平台内部和所述内部空腔之间处于连通或阻隔状态；其中，所述工作平台的顶部具有开口，所述开口位于所述内部空腔的下方，用于装载所述晶圆的所述晶圆托架在所述内部空腔和所述工作平台内部之间进行往复移动；其中，所述开口与所述关断门相对设置，所述关断门能够将所述开口封闭住。