[发明专利]激光图案检查装置在审
| 申请号： | 201310324343.9 | 申请日： | 2013-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN103868936A | 公开（公告）日： | 2014-06-18 |
| 发明（设计）人： | 李石柱;全镇弘 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/956 | 分类号： | G01N21/956 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 张红霞;周艳玲 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种激光图案检查装置，包括：固定板；被构造为相对于所述固定板竖向移动并被构造为旋转的旋转板；被连接到所述旋转板的壳体；在所述固定板上方并发出激光束的激光发射单元；在所述壳体上的棱镜单元，所述棱镜单元折射从所述激光发射单元接收的所述激光束的第一部分并透射所述激光束的第二部分；以及在所述壳体上的光束分析仪，所述光束分析仪分析由所述棱镜单元折射的所述第一部分的图案。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 图案 检查 装置 | ||
【主权项】：
一种激光图案检查装置，包括：固定板；被构造为相对于所述固定板竖向移动并被构造为旋转的旋转板；被连接到所述旋转板的壳体；安装在所述固定板上方并发出激光束的激光发射单元；在所述壳体上的棱镜单元，所述棱镜单元折射从所述激光发射单元接收的所述激光束的第一部分并透射所述激光束的第二部分；以及在所述壳体上的光束分析仪，所述光束分析仪分析由所述棱镜单元折射的所述第一部分的图案。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于三星显示有限公司，未经三星显示有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201310324343.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
