[发明专利]检测件和晶圆有效
| 申请号： | 201310315240.6 | 申请日： | 2013-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN103400824A | 公开（公告）日： | 2013-11-20 |
| 发明（设计）人： | 胡勇;于涛 | 申请（专利权）人： | 上海宏力半导体制造有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/544 | 分类号： | H01L23/544 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 骆苏华 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种检测件和包括所述检测件的晶圆。所述检测件设置于包括器件区和检测区的晶圆上，所述器件区用于形成半导体器件，所述半导体器件包括位于衬底上的第一栅极和第二栅极；所述检测件位于所述检测区，用于对所述半导体器件进行检测，包括：检测有源区，所述检测有源区与所述半导体器件相对应；第一检测栅极，位于所述检测有源区上，与所述第一栅极相对应；第二检测栅极，位于所述检测有源区上，与所述第二栅极相对应；第一检测连接线，与所述第一检测栅极相连；第二检测连接线，与所述第二检测栅极相连。本发明能够减小漏电流产品漏检的几率，提高检测精度。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 | ||
【主权项】：
一种检测件，设置于包括器件区和检测区的晶圆上，所述器件区用于形成半导体器件，所述半导体器件包括位于衬底上的第一栅极和第二栅极；所述检测件位于所述检测区，用于对所述半导体器件进行检测，其特征在于，包括：检测有源区，所述检测有源区与所述半导体器件相对应；第一检测栅极，位于所述检测有源区上，与所述第一栅极相对应；第二检测栅极，位于所述检测有源区上，与所述第二栅极相对应；第一检测连接线，与所述第一检测栅极相连；第二检测连接线，与所述第二检测栅极相连。
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