[发明专利]一种蓝宝石晶体生长用真空炉

摘要

蓝宝石晶体生长用真空炉涉及一种蓝宝石晶体生长用的真空炉。主要是为解决现有的蓝宝石晶体生长用真空炉温场热扰动几率和不稳定性高的问题而设计的。它包括炉体、进水阀门、流量计、真空系统、炉盖、出水流量计、电极、观察孔、晶体提拉机构、下隔热屏、侧隔热屏、上隔热屏、坩埚、发热体、坩埚托盘、托盘顶柱、出水管道、集水槽；集水控制槽上有进水管，集水控制槽有管道经调节阀门与集水槽连接，集水控制槽内的换热器有管道经制冷阀门与制冷机连接，集水控制槽内设有温度控制仪，集水控制槽通过管道经水泵和控制流量计与炉底中央的进水阀门连接。优点是减少温场扰动几率和不稳定性，确保蓝宝石晶体生长能有稳定和理想的温场。

主权项

一种蓝宝石晶体生长用真空炉，包括具有双层结构的炉体(6)，炉体侧壁上有进水阀门(11)，炉体侧壁的出水口上有流量计(25)，炉体一侧装有真空系统(7)，炉体上部有炉盖(1)，炉盖上有进水阀门(5)、出水流量计(25)、电极(2)、观察孔(3)、蓝宝石晶体提拉机构(4)，炉体内有下隔热屏(10)、侧隔热屏(9)、上隔热屏(8)，在各隔热屏里面炉体的中央有坩埚(29)，坩埚外面有发热体(27)，坩埚下面是坩埚托盘(28)，坩埚托盘下面是托盘顶柱(26)，托盘顶柱置于炉底(30)上，炉底为双层结构，炉底中央有进水阀门(15)；炉底周围有若干个出水管道，各出水管道上都有流量计(25)，炉底上的各出水管道均与集水槽(12)连通，集水槽内设有温度计(14)，集水槽上有排水阀门(13)；其特征是：还设有集水控制槽(17)，集水控制槽上有进水管(18)，集水控制槽有管道经调节阀门(16)与集水槽(12)连接，集水控制槽内有换热器(19)，换热器有管道经制冷阀门(20)与制冷机(21)连接，集水控制槽内设有温度控制仪(22)，集水控制槽通过管道经水泵(23)和控制流量计(24)与炉底中央的进水阀门(15)连接。