[发明专利]改良的太阳能硅晶圆的制造方法以及太阳能硅晶圆

摘要

本发明公开了一种改良的太阳能硅晶圆的制造方法以及太阳能硅晶圆，是先移除太阳能硅晶棒的两重工区域以保留一常态区域，然后从太阳能硅晶棒的常态区域分割出太阳能硅晶圆，并经由加热至一反应温度之后持温一反应时间的退火处理后形成本发明的太阳能硅晶圆，本发明的制造方法可有效提升太阳能硅晶圆的硬度及增加抗折强度，减少后续制程中产生硅晶圆裂痕或硅晶圆破片的问题，以增加制程良率及降低生产成本；并且，通过本发明制造方法所制得的太阳能硅晶圆可提高其光电转换效率，达到产生效能更好的太阳能电池的目的。

主权项

一种改良的太阳能硅晶圆的制造方法，其特征在于：按下述步骤进行：一、提供一太阳能硅晶棒；二、移除该太阳能硅晶棒的两重工区域以保留一常态区域；三、对该太阳能硅晶棒的该常态区域进行切片处理，以形成至少一个太阳能硅晶圆；四、将该些太阳能硅晶圆放置于一高温设备中，并将该些太阳能硅晶圆进行退火处理：加热升温至一反应温度之后持温一反应时间，之后进行降温。