[发明专利]一种工件台微动部分六自由度解耦建模方法有效
| 申请号： | 201310296004.4 | 申请日： | 2013-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN103345197A | 公开（公告）日： | 2013-10-09 |
| 发明（设计）人： | 陈兴林;王一光;李晓杰 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | G05B19/18 | 分类号： | G05B19/18;G03F7/20 |
| 代理公司： | 哈尔滨市松花江专利商标事务所 23109 | 代理人： | 牟永林 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 一种工件台微动部分六自由度解耦建模方法，主要涉及的是一种光刻机工件台微动部分六自由度解耦建模方法。本发明是要解决光刻机工件台微动部分竖直方向三自由度运动模型与水平方向三自由度运动模型的耦合问题。一、建立工件台微动部分质心驱动力及转矩与音圈电机驱动力之间的转换关系；二、建立曝光中心与工件台微动部分质心之间的位置关系；三、将步骤二得到的位置关系二次求导并忽略一次微分项；四、根据牛顿第二定律得出作用在工件台微动部分质心上的驱动力及转矩与曝光区域中心加速度的关系式；五、利用步骤一和步骤四所得结果列写关于质心驱动力及转矩的等式，得出曝光中心位置和音圈电机驱动力之间的关系式。本发明属于超精密制造领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 工件 微动 部分 自由度 建模 方法 | ||
【主权项】：
一种工件台微动部分六自由度解耦建模方法，其特征在于工件台微动部分六自由度解耦建模方法按以下步骤实现：一、根据音圈电机的安装位置和角度建立工件台微动部分质心驱动力及转矩与音圈电机驱动力之间的转换关系；二、建立曝光中心与工件台微动部分质心之间的位置关系；三、将步骤二得到的位置关系二次求导并忽略一次微分项，得到工件台微动部分质心与曝光中心的加速度关系；四、根据牛顿第二定律得出作用在工件台微动部分质心上的驱动力及转矩与曝光区域中心加速度的关系式 F cog = M cog · Q · x · · y · · r · · z z · · r · · x r · · y 其中 M cog = m 0 0 0 0 0 0 m 0 0 0 0 0 0 J z 0 0 0 0 0 0 m 0 0 0 0 0 0 J x 0 0 0 0 0 0 J y m为工件台微动部分质量，Jx,Jy,Jz为工件台微动部分相对于x,y,z轴的转动惯量；五、利用步骤一和步骤四所得结果列写关于质心驱动力及转矩的等式，得到曝光中心位置和音圈电机驱动力之间的关系式。
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