[发明专利]拱形环结构的级联式马赫曾德尔干涉型光学生化传感器

摘要

本发明公开了拱形环结构的级联式马赫曾德尔干涉型光学生化传感器，其包括一个输入输出直波导、一个环形谐振腔，所述环形谐振腔包括：第一直波导、左半圆反馈环波导、右半圆反馈环波导、第二直波导、第一环形波导、第三直波导、第二环形波导以及第四直波导，所述输入输出直波导依次包括输入端、第五直波导、第六直波导、第七直波导、第八直波导、第九直波导以及输出端。本发明通过采用两个或多个的非平衡马赫曾德尔干涉仪结构和一个环形谐振腔，基于游标效应，获得具有更大的自由光谱范围和较高灵敏度的谐振峰，通过测量这种具有高灵敏度的谐振峰的漂移，进一步获得被测物质折射率和浓度的信息。

主权项

拱形环结构的级联式马赫曾德尔干涉型光学生化传感器，其特征在于，包括一个输入输出直波导、一个环形谐振腔，所述环形谐振腔包括：第一直波导、左半圆反馈环波导、右半圆反馈环波导、第二直波导、第一环形波导、第三直波导、第二环形波导以及第四直波导，所述第二直波导、第三直波导、第四直波导共线，所述输入输出直波导、第一直波导与第二直波导、第三直波导、第四直波导平行，所述左半圆反馈环波导的两端分别延伸出第一直波导的第一端和第二直波导的第一端，右半圆反馈环波导的两端分别延伸出第一直波导的第二端和第四直波导的第二端，第一环形波导的两端分别延伸出第二直波导的第二端和第三直波导的第一端，第二环形波导的两端分别延伸出第三直波导的第二端和第四直波导的第一端；所述输入输出直波导依次包括输入端、第五直波导、第六直波导、第七直波导、第八直波导、第九直波导以及输出端；所述第二直波导与第五直波导构成第一方向耦合器，所述第三直波导与第七直波导构成第二方向耦合器，所述第四直波导与第九直波导构成第三方向耦合器，所述第一环形波导与第六直波导构成第一马赫曾德尔干涉仪结构，所述第一环形波导作为第一马赫曾德尔干涉仪结构的弯曲臂，所述第六直波导作为第一马赫曾德尔干涉仪结构的直臂，所述第二环形波导与第八直波导构成第二马赫曾德尔干涉仪结构，所述第二环形波导作为第二马赫曾德尔干涉仪结构的弯曲臂，所述第八直波导作为第二马赫曾德尔干涉仪结构的直臂。