[发明专利]垫片结构及使用该垫片结构的裂片装置有效
| 申请号： | 201310291380.4 | 申请日： | 2013-07-11 |
| 公开（公告）号： | CN103382082A | 公开（公告）日： | 2013-11-06 |
| 发明（设计）人： | 谢克成 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | C03B33/02 | 分类号： | C03B33/02 |
| 代理公司： | 广东广和律师事务所 44298 | 代理人： | 刘敏 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种垫片结构，其设置在夹持装置与被夹物体相接触的位置。所述垫片结构包括至少两层相互连接的缓冲层，所述缓冲层由弹性材料制成。至少一缓冲层内开设有镂空单元。另，本发明还提供一种使用该垫片结构的裂片装置。 | ||
| 搜索关键词： | 垫片 结构 使用 裂片 装置 | ||
【主权项】：
一种垫片结构(104)，其设置在夹持装置与被夹物体相接触的位置，所述垫片结构(104)包括至少两层相互连接的缓冲层(105)，所述缓冲层(105)由弹性材料制成，所述至少一缓冲层(105)内开设有镂空单元(106)。
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