[发明专利]用于减少NFT热突出的方法和系统有效

专利信息
申请号: 201310254614.8 申请日: 2013-06-25
公开(公告)号: CN103514894A 公开(公告)日: 2014-01-15
发明(设计)人: S·M·坦纳;Y·胡 申请(专利权)人: 西部数据(弗里蒙特)公司
主分类号: G11B5/60 分类号: G11B5/60
代理公司: 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 代理人: 赵蓉民
地址: 美国加利*** 国省代码: 美国;US
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 发明提供用于能量辅助磁记录(EAMR)换能器的近场换能器(NFT)的方法和系统。该方法和系统包括形成具有盘片和针脚的NFT。沉积基本上覆盖NFT的电介质层。移除一部分电介质层,使得电介质层具有在其中的孔。该孔暴露NFT的针脚。EAMR换能器在大于EAMR换能器的预期工作温度的温度下退火。
搜索关键词: 用于 减少 nft 突出 方法 系统
【主权项】:
一种提供用于能量辅助磁记录即EAMR换能器的近场换能器即NFT的方法,所述方法包括:形成具有盘片和针脚的NFT;沉积基本上覆盖所述NFT的电介质层;移除一部分所述电介质层,使得电介质层具有在其中的孔,所述孔暴露所述针脚;以及在大于所述EAMR换能器的预期工作温度的温度下将所述EAMR换能器退火。
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