[发明专利]Si基薄膜电池中PECVD成膜镂空的检测装置及检测方法有效
| 申请号： | 201310223524.2 | 申请日： | 2013-06-06 |
| 公开（公告）号： | CN103307965A | 公开（公告）日： | 2013-09-18 |
| 发明（设计）人： | 邵传兵;刘小雨 | 申请（专利权）人： | 山东禹城汉能光伏有限公司 |
| 主分类号： | G01B7/00 | 分类号： | G01B7/00;G01B7/32 |
| 代理公司： | 济南泉城专利商标事务所 37218 | 代理人： | 李桂存 |
| 地址： | 251200 山东省德州*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种Si基薄膜电池中PECVD成膜镂空的检测装置及检测方法。目前，薄膜镂空采用SEM来测试镂空面积很困难，并且针对薄膜电池尺寸的SEM设备非常昂贵。为此，本发明公开了一种Si基薄膜电池中PECVD成膜镂空的检测装置，包括检测装置、电路系统和用于显示薄膜电池中PECVD成膜镂空面积和数量的显示装置；所述检测装置包括探针组和用于实现所述探针组在X轴方向做往返运动的运动系统以及用于实现薄膜电池在Y轴方向做往返运动的定位系统；所述探针组和电路系统形成闭合回路；所述显示装置与电路系统的输出端电连接。此外，本发明还公开了一种Si基薄膜电池中PECVD成膜镂空的检测方法。本发明结构合理、成本较低、使用方便，能够测试出薄膜镂空的数量和面积。 | ||
| 搜索关键词： | si 薄膜 电池 pecvd 镂空 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种Si基薄膜电池中PECVD成膜镂空的检测装置，其特征在于：包括检测装置、电路系统和用于显示薄膜电池（1）中PECVD成膜镂空面积和数量的显示装置；所述检测装置包括探针组（8）和用于实现所述探针组（8）在X轴方向做往返运动的运动系统以及用于实现薄膜电池（1）在Y轴方向做往返运动的定位系统；所述探针组（8）和电路系统形成闭合回路；所述显示装置与电路系统的输出端电连接。
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