[发明专利]石墨烯的制备设备及制备方法

摘要

本发明提供了一种石墨烯的制备设备及制备方法，该方法向真空度小于或等于1Torr的生长室中通入载气与碳源，利用线圈中交变电流电磁感应加热生长基体，生长石墨烯。与现有利用热传递或热辐射加热进行制备石墨烯相比，首先，本发明利用线圈中交变电流电磁感应在生长基体上产生涡旋电流，利用生长基体本身上的电流转化为热量，使得生长基体可迅速升温，同时断电后可迅速降温；其次，本发明无需对整个生长室加热，只需加热生长基体，而石墨烯是由生长基体附近碳源反应生成，因此，该方法能量利用率高；再次，本发明无需复杂而庞大的外围加热设备，系统结构简单，成本较低。

主权项

一种石墨烯的制备设备，其特征在于，包括：供气系统；与所述供气系统相连接的生长室；与所述生长室相连接的抽真空装置；设置于所述生长室内的生长基体；缠绕于所述生长室外的线圈；与所述线圈相连通的交变电流源。