[发明专利]带状电子束可调聚焦装置无效
| 申请号： | 201310216250.4 | 申请日： | 2013-06-03 |
| 公开（公告）号： | CN103367080A | 公开（公告）日： | 2013-10-23 |
| 发明（设计）人： | 王建勋;罗勇;杨容;刘国;王丽;徐勇;鄢然 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | H01J23/087 | 分类号： | H01J23/087 |
| 代理公司： | 北京方圆嘉禾知识产权代理有限公司 11385 | 代理人： | 董芙蓉 |
| 地址： | 610054 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种带状电子束可调聚焦装置，由两块相对的聚焦磁体板组成，每块聚焦磁体板包括一固定板，在固定板上表面安装有多组轴向对称的QM磁体，在固定板的下表面安装有多对屏蔽铁极，位于相邻屏蔽铁极之间分布有PCM磁体，其中两块聚焦磁体板上的相对的每组QM磁体在几何上对称分布构成四极结构的QM磁体。本发明公开的装置可以有效的适用于各种高宽比的带状束电子束的聚焦。 | ||
| 搜索关键词： | 带状 电子束 可调 聚焦 装置 | ||
【主权项】：
带状电子束可调聚焦装置，由两块相对的聚焦磁体板组成，每块聚焦磁体板包括一固定板，在固定板上表面安装有多组轴向对称的QM磁体，在固定板的下表面安装有多对屏蔽铁极，位于相邻屏蔽铁极之间分布有PCM磁体，其中两块聚焦磁体板上的相对的每组QM磁体在几何上对称分布构成四极结构的QM磁体。
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