[发明专利]一种微细孔板电铸装置无效
申请号: | 201310212126.0 | 申请日: | 2013-05-31 |
公开(公告)号: | CN103276417A | 公开(公告)日: | 2013-09-04 |
发明(设计)人: | 范祥荣 | 申请(专利权)人: | 苏州市金翔钛设备有限公司 |
主分类号: | C25D1/08 | 分类号: | C25D1/08 |
代理公司: | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人: | 董建林 |
地址: | 215000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种微细孔板电铸装置,包括电铸箱,其特征在于,所述电铸箱内设有作为阳极的金属板,以及作为阴级的芯模,所述电铸箱上还连接有真空抽气装置。电铸时,电铸箱中电解液中的金属阳离子获得电子沉积在阴极的芯模上,与此同时,阳极金属在电场的作用下失去电子进入电解液使电解液中金属阳离子的浓度达到平衡,这样随着时间的推延,芯模上金属沉积层就会越来越厚,最终达到所需要的厚度。通过真空抽气装置对微细电铸环境进行封闭并抽气至负压条件。降低微细电铸环境的大气压力,有利于溶液中氢气泡的析出,减少针孔等沉积缺陷产生的几率和数量,提高电铸效果。 | ||
搜索关键词: | 一种 微细 电铸 装置 | ||
【主权项】:
一种微细孔板电铸装置,包括电铸箱,其特征在于,所述电铸箱内设有作为阳极的金属板,以及作为阴级的芯模,所述电铸箱上还连接有真空抽气装置。
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