[发明专利]一种真空高精度窗口的实现方法及其装置有效
| 申请号： | 201310180114.4 | 申请日： | 2013-05-16 |
| 公开（公告）号： | CN103278904A | 公开（公告）日： | 2013-09-04 |
| 发明（设计）人： | 杨飞;陈宝刚;王富国;张丽敏;明名 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G02B7/00 | 分类号： | G02B7/00 |
| 代理公司： | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人： | 南小平 |
| 地址： | 130033 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 一种真空高精度窗口的实现方法及其装置属于光机电工程技术领域，目的在于解决现有技术中真空窗口存在的面形精度低的问题。本发明构建一种阶梯压差式的真空窗口的实现方法，安装座通过螺钉固定到安装接口上，窗口玻璃A通过压圈及密封圈Ａ、密封圈B和密封圈C安装到镜座Ａ上，多个柔性调整旋钮A圆周均布在所述镜座A和所述安装座之间；窗口玻璃B通过压圈及密封圈安装到镜座Ｂ上，金属波纹管Ｂ与镜座Ｂ及镜座A之间采用密封圈进行密封安装，多个柔性调整旋钮B圆周均布在所述镜座A和所述安装座B之间；采用n块窗口玻璃Ａ或窗口玻璃Ｂ连续安装。本发明的高精度真空窗口的实现方法及其装置操作简单、面形精度高、结构简单、方便拆卸和维护。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 高精度 窗口 实现 方法 及其 装置 | ||
【主权项】：
一种真空高精度窗口的实现方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤一：采用n块窗口玻璃构成光学窗口，所述n块窗口玻璃水平依次设置，使每相邻的两块玻璃之间形成封闭腔；步骤二：对步骤一中形成的多个封闭腔进行抽真空处理；步骤三：在经步骤二抽真空处理的多个封闭腔内充入惰性气体，使多个封闭腔内的压力顺次递增。
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