[发明专利]波长可变干涉滤波器、光学滤波器装置、光学模块及设备

摘要

本发明提供一种波长可变干涉滤波器、光学滤波器装置、光学模块以及设备。波长可变干涉滤波器包括：第一基板；与第一基板连接的第二基板；设置于第一基板的与第二基板相对的面上的第一反射膜；设置于第二基板的与第一基板相对的面上并隔着反射膜之间间隙与第一反射膜相对的第二反射膜，以及使第二基板向接近第一基板的方向挠曲而使反射膜之间间隙变化的静电执行器。第一反射膜以及第二反射膜具有对于第二波长的光的反射率大于对于第一波长的光的反射率的反射率特性，其中，第二波长小于第一波长。

主权项

一种波长可变干涉滤波器，其特征在于，所述波长可变干涉滤波器包括：第一基板；第二基板，与所述第一基板相对；第一反射膜，设置于所述第一基板的与所述第二基板相对的面；第二反射膜，设置于所述第二基板的与所述第一基板相对的面，隔着反射膜之间间隙与所述第一反射膜相对；以及间隙变更部，使所述第二基板向接近所述第一基板的方向挠曲，从而使所述第一反射膜与所述第二反射膜之间的所述反射膜之间间隙变化，所述第一反射膜以及所述第二反射膜具有对于第二波长的光的反射率大于对于第一波长的光的反射率的反射率特性，其中，所述第二波长小于所述第一波长。