[发明专利]一种阳极自动化键合设备无效
申请号: | 201310151109.0 | 申请日: | 2013-04-27 |
公开(公告)号: | CN103626121A | 公开(公告)日: | 2014-03-12 |
发明(设计)人: | 陈涛;潘明强;陈立国;王阳俊;刘吉柱 | 申请(专利权)人: | 苏州迪纳精密设备有限公司 |
主分类号: | B81C3/00 | 分类号: | B81C3/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215000 江苏省苏州市苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 发明公开了一种阳极自动化键合设备,包括一个键合处理加热炉,其上部具有一个工件吸取杆,所述工件吸取杆安装于可在垂直方向移动的升降移动机构上,所述升降移动机构的一侧安装视觉显微系统和智能温度调节表;所述键合处理加热炉底部安装一个位移旋转平台。本发明能够满足微机电系统的键合条件,通过智能调节,使键合后产品质量高,操作简便,提高了阳极键合的工业应用范围。 | ||
搜索关键词: | 一种 阳极 自动化 设备 | ||
【主权项】:
一种阳极自动化键合设备,其特征在于包括一个键合处理加热炉,其上部具有一个工件吸取杆,所述工件吸取杆安装于可在垂直方向移动的升降移动机构上,所述升降移动机构的一侧安装视觉显微系统和智能温度调节表;所述键合处理加热炉底部安装一个位移旋转平台。
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