[发明专利]用于标记基板的装置和方法以及标记

摘要

本发明公开了用等离子发生器(5)标记基板(14)的装置和方法以及相应的标记。等离子流(11)被导向到基板(14)上并与粉末流(12)叠加。在粉末定量和分散单元(7)中，粉末(20)与粉末形式的标记物质(30)混合。该标记形成了标记物质(30)均匀分布并永久嵌入的粉末(20)材料的粘合层(15)。

主权项

一种用于标记基板(14)的装置(1)，包括：等离子发生器(5)，用于产生导向到所述基板(14)上的等离子流(11)；含有粉末(20)和粉末形式的标记物质(30)的至少一个第一容器(2)；或者含有粉末(20)的至少一个第一容器(2)和含有粉末形式的标记物质(30)的至少一个第二容器(3)；粉末喷射器(4)，用于产生粉末流(12)，相对于所述等离子发生器(5)布置，使得所述等离子流(11)与所述粉末流(12)叠加，在所述基板(14)上形成层(15)，其中，所述粉末流(12)由所述粉末(20)和所述粉末形式的标记物质(30)组成，而且由所述等离子发生器(5)提供脉冲电弧放电。