[发明专利]蚀刻膏，制备蚀刻膏的方法，利用蚀刻膏形成图案的方法无效
| 申请号： | 201310078634.4 | 申请日： | 2013-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN103540321A | 公开（公告）日： | 2014-01-29 |
| 发明（设计）人： | 沈在俊 | 申请（专利权）人： | 第一毛织株式会社 |
| 主分类号： | C09K13/06 | 分类号： | C09K13/06;G03F7/00 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 李丙林;张英 |
| 地址： | 韩国庆*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明公开了蚀刻膏，制备所述蚀刻膏的方法，和利用所述蚀刻膏形成图案的方法。更具体地，本发明涉及一种蚀刻膏，包含酸化合物、有机粘结剂、选自胺化合物和铵化合物的至少一种化合物、钴铝氧化物、和溶剂，制备所述蚀刻膏的方法，和利用所述蚀刻膏形成图案的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 蚀刻 制备 方法 利用 形成 图案 | ||
【主权项】：
一种蚀刻膏，包括：酸化合物；有机粘结剂；选自胺化合物和铵化合物的至少一种化合物；钴铝氧化物；和溶剂。
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