[发明专利]一种基于椭偏度测量的滚转角误差测量方法和装置有效
| 申请号： | 201310073479.7 | 申请日： | 2013-03-08 |
| 公开（公告）号： | CN103162645A | 公开（公告）日： | 2013-06-19 |
| 发明（设计）人： | 匡翠方;修鹏;刘旭;葛剑虹 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | G01B11/26 | 分类号： | G01B11/26 |
| 代理公司： | 杭州天勤知识产权代理有限公司 33224 | 代理人： | 胡红娟 |
| 地址： | 310027 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于椭偏度测量的滚转角误差测量方法，包括二分之一波片处于被测件上的第一位置时，将线偏光入射到与被测件滑动配合的二分之一波片内，透过二分之一波片的线偏光经四分之一波片形成椭偏光，所述椭偏光再照射到旋转的检偏器上，分析检偏器出射光束的光强变化得到第一椭偏度；将二分之一波片移至第二位置，根据与第一椭偏度同样的方法得到第二椭偏度，比较分析第一椭偏度和第二椭偏度，得到被测件的第一位置和第二位置之间的滚转角误差。本发明还公开了一种基于椭偏度测量的滚转角误差测量装置。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 椭偏度 测量 转角 误差 测量方法 装置 | ||
【主权项】：
一种基于椭偏度测量的滚转角误差测量方法，其特征在于，包括以下步骤：1）二分之一波片处于被测件上的第一位置时，线偏光入射到二分之一波片，透过二分之一波片的线偏光经四分之一波片形成椭偏光，所述椭偏光再照射到旋转的检偏器上，分析检偏器出射光束的光强变化得到第一椭偏度；2）二分之一波片沿被测件滑动至第二位置时，线偏光入射到二分之一波片，透过二分之一波片的线偏光经四分之一波片形成椭偏光，所述椭偏光再照射到旋转的检偏器上，分析检偏器出射光束的光强变化得到第二椭偏度；3）比较分析第一椭偏度和第二椭偏度，得到被测件的第一位置和第二位置之间的滚转角误差。
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