[发明专利]晶体生长中的高纯HE的回收纯化和重复使用装置及方法有效
| 申请号： | 201310073142.6 | 申请日： | 2013-03-07 |
| 公开（公告）号： | CN103204483A | 公开（公告）日： | 2013-07-17 |
| 发明（设计）人： | 季泳;张龚磊 | 申请（专利权）人： | 贵阳嘉瑜光电科技咨询中心 |
| 主分类号： | C01B23/00 | 分类号： | C01B23/00 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 谷庆红 |
| 地址： | 550004 贵州省贵*** | 国省代码： | 贵州;52 |
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| 摘要： | 本发明公开了晶体生长中的高纯HE的回收纯化和重复使用装置及方法，它包括气体增压泵、第一气体储罐、油气过滤器、分子筛、第二气体储罐、超低温吸附冷泵、回热器、气体检测仪、第三气体储罐以及PLC控制器，经过增压纯化、充气、除杂等步骤。本发明的有益效果是：采用分子筛、冷泵作为吸附源，进行物理吸附，并建立一个自动检测控制系统，进行循环提纯，达到了5N的高纯级别，对晶体生长过程中充入炉腔的HE进行回收纯化和重复使用，实现了HE的自动化回收、纯化和重复使用，节省了80%以上HE生产费用。 | ||
| 搜索关键词： | 晶体生长 中的 高纯 he 回收 纯化 重复使用 装置 方法 | ||
【主权项】：
晶体生长中的高纯HE的回收纯化和重复使用装置，其特征在于：它包括气体增压泵（1）、第一气体储罐（2）、油气过滤器（3）、分子筛（4）、第二气体储罐（5）、超低温吸附冷泵（6）、回热器（7）、气体检测仪（8）、第三气体储罐（9）以及PLC控制器（10），其中，气体增压泵（1）的进气端通过通气控制阀接到晶体生产炉（11）的机械泵出气口上，第三气体储罐（9）的出气端连接到晶体生产炉（11）的生产用气接口上，气体增压泵（1）的出气端与第三气体储罐（9）的进气端之间连接依次通过气路连通的第一气体储罐（2）、油气过滤器（3）、分子筛（4）、第二气体储罐（5）、超低温吸附冷泵（6）、回热器（7）以及气体检测仪（8），其中，气体增压泵（1）、第一气体储罐（2）、油气过滤器（3）、第二气体储罐（5）、超低温吸附冷泵（6）、回热器（7）以及气体检测仪（8）的进气端均安装有气体控制阀（12），气体检测仪（8）上设置有合格气体出气端（81）和不合格气体出气端（82），合格气体出气端（81）和第三气体储罐（9）的进气端相连，不合格气体出气端（82）和气体增压泵（1）相连，PLC控制器（10）的信号输入端和晶体生产炉（11）相连，PLC控制器（10）上设置有多个信号输出端，PLC控制器（10）的信号输出端分别和气体增压泵（1）、第一气体储罐（2）、油气过滤器（3）、第二气体储罐（5）、超低温吸附冷泵（6）、回热器（7）以及气体检测仪（8）进气端上的气体控制阀（12）相连。
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