[发明专利]用于电子显微镜的对中装置

摘要

本发明是一种用于电子显微镜的对中装置，包括与电子显微镜的发射源部件固定连接的第一连接座、与镜筒部件连接的第二连接座和将第一连接座和第二连接座紧固连接的连接结构，第一连接座和第二连接座分别成型有与第一通孔同心设置的第一圆弧槽和与第二通孔同心设置的第二圆弧槽，两圆弧槽的内外圆弧的几何中心线正对；在第一圆弧槽与第二圆弧槽之间设有不易变形且绝缘的支承件，支承件包括用于嵌入第一圆弧槽的第一弧面和用于嵌入第二圆弧槽的第二弧面，两弧面对应的弦长不小于对应圆弧槽的槽宽。本发明提供一种通过在上下连接座端面成型圆弧槽以代替现有技术中成型圆孔的方式来达到电子显微镜所要求的对中精度的对中装置。

主权项

一种用于电子显微镜的对中装置，包括第一连接座（1），所述第一连接座（1）的上端与电子显微镜的发射源部件（2）固定连接，且所述第一连接座（1）的端面成型有用于所述发射源部件（2）发射的电子束穿过的第一通孔（3）；第二连接座（4），设置于所述第一连接座（1）下方，且所述第二连接座（4）的下端与所述电子显微镜的镜筒部件（6）固定连接，所述第二连接座（4）上成型有与所述第一通孔（3）同轴心的第二通孔（5）；连接结构，用于紧固所述第一连接座（1）与所述第二连接座（4）为一体；其特征在于：所述第一连接座（1）的下端面上成型有与所述第一通孔（3）同心设置的第一圆弧槽（7），所述第二连接座（4）的上端面上成型有与所述第一圆弧槽（7）相对设置并平行的第二圆弧槽（8），两所述圆弧槽都包括内外圆弧，所述第二圆弧槽（8）的内外圆弧的几何中心线与所述第一圆弧槽（7）内外圆弧的几何中心线沿电子束通过的轴线方向正对；在所述第一圆弧槽（7）与所述第二圆弧槽（8）之间设有不易变形且绝缘的支承件（9），所述支承件（9）包括用于嵌入所述第一圆弧槽（7）的第一弧面（10）和用于嵌入所述第二圆弧槽（8）的第二弧面（11），所述第一弧面（10）对应的弦长不小于所述第一圆弧槽（7）的槽宽，所述第二弧面（11）对应的弦长不小于所述第二圆弧槽（8）的槽宽。