[发明专利]树脂密封装置及树脂密封方法

摘要

本发明提供一种树脂密封装置及树脂密封方法，其不受基板的外周部分的孔的位置的影响，而能够使基板稳定地吸附于上模。本发明的树脂密封装置（100），其具有上模（110）及能够与上模（110）相对靠近或远离的下模（130），通过负压将基板（106）吸附于上模（110）来进行树脂密封，其中，上模（110）在基板（106）被树脂密封的密封区域（106A）所对应的区域与最接近密封区域（106A）设置的孔（106B）所对应的区域之间的区域，具有对基板（106）进行吸附的吸附部（120A）。

主权项

一种树脂密封装置，其具有第1模具及能够与该第1模具相对靠近或远离的第2模具，通过负压将被成型品吸附于该第1模具来进行树脂密封，其特征在于，所述第1模具中，在所述被成型品被树脂密封的密封区域所对应的区域与最接近该密封区域设置的孔所对应的区域之间的区域，具有对该被成型品进行吸附的吸附部。