[发明专利]一种制备柔性可延展互连线的方法

摘要

一种制备柔性可延展互连线的方法，属于工程材料、结构形变及力学实验设备技术领域。该方法通过预拉伸上表面设有方形凸台的软基底，然后将互连线贴在方形凸台上，并将软基底恢复到原长，使得互连线受压发生向上偏转的失稳，得到柔性可延展的互连线。失稳后的互连线能够承受的拉伸应变等于软基底被拉伸时受到的预应变，并通过能量最小原理求得该柔性可延展互连线的幅值和波长。该方法通过互连线的柔性可延展实现电子器件的柔性可延展，而不影响电子器件的物理性能，特别适用于柔性电子器件中互连线的制备，操作简单、方便。

主权项

1.一种制备柔性可延展互连线的方法，其特征在于该方法按如下步骤进行：1）将长度为L₀的软基底一端固定，另一端仅能够沿水平方向移动，所述软基底上表面设有方形凸台；2）使软基底沿着水平方向伸长ΔL，此时软基底的长度L₁=L₀+ΔL，预应变ε_pre=ΔL/L₀；3）将互连线贴在被拉伸的软基底上表面的方形凸台上，然后再使软基底的长度恢复到原长L₀，此时互连线在水平方向上被压缩，在相邻两个方形凸台之间的互连线产生向上偏转的失稳，得到柔性可延展的互连线，失稳后的互连线能够承受的拉伸应变等于软基底被拉伸时受到的预应变ε_pre，该柔性可延展互连线的幅值A和波长λ分别为：A=4πwd(wd+wp)(ϵpre-ϵc)]]>λ=2w_d其中，w_d和w_p分别为相邻两个方形凸台间隙的一半和凸台宽度的一半，为软基底被拉伸时受到的预应变，为对应的两端固支欧拉梁失稳的临界应变；h为互连线的厚度。