[发明专利]刻蚀烘烤设备

摘要

本发明提供了一种刻蚀烘烤设备，该刻蚀烘烤设备包括：反应室组件，反应室组件构造成用于容纳石墨盘的反应腔；加热组件，加热组件设置在反应室组件的外周；以及设备平台，反应室组件和加热组件由该设备平台支承。反应室组件特别地包括：反应罩，该反应罩的顶侧设有通气管，该反应罩的底侧敞开；反应罩固定座，该反应罩固定座固定支承反应罩；以及底盖，该底盖设有连通反应腔的尾气通道，并且底盖密封连接到固定座上。采用本发明的反应室结构，可以满足刻蚀烘烤设备对于反应室的全方位的要求。

主权项

一种刻蚀烘烤设备（10），所述刻蚀烘烤设备（10）包括：反应室组件（100），所述反应室组件（100）形成用于容纳石墨盘（20）或外延衬底片的反应腔（150），加热组件（200），所述加热组件（200）设置在所述反应室组件（100）的外周；以及设备平台（500），所述反应室组件（100）和所述加热组件（200）由该设备平台（500）支承；其特征在于，所述反应室组件（100）包括：反应罩（110），所述反应罩（110）的顶部设有通气管（111），所述反应罩（110）的底侧敞开；反应罩固定座（120），所述反应罩固定座（120）固定支承所述反应罩（110）；以及底盖（140），所述底盖（140）设有连通所述反应腔（150）的至少一条尾气通道（141）。