[发明专利]冷阱及冷阱的控制方法有效
| 申请号： | 201310032854.3 | 申请日： | 2013-01-28 |
| 公开（公告）号： | CN103223260A | 公开（公告）日： | 2013-07-31 |
| 发明（设计）人： | 田中秀和 | 申请（专利权）人： | 住友重机械工业株式会社 |
| 主分类号： | B01D8/00 | 分类号： | B01D8/00 |
| 代理公司： | 广州三环专利代理有限公司 44202 | 代理人： | 温旭;郝传鑫 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种冷阱及冷阱的控制方法，其目的在于能够实现冷阱的连续运行。本发明的冷阱（10）具备2个能够独立控制的冷却单元（20，22）。冷阱（10）配置于将真空腔室（16）连接在涡轮分子泵（12）的排气流路（14）。第1冷却单元（20）包含：露出于排气流路（14）而配置的第1板单元（26）；及热连接于第1板单元（26）并对冷却第1板单元（26）进行冷却的第1制冷机（24）。第2冷却单元（22）包含：露出于排气流路（14）而配置的第2板单元（30）；及热连接于第2板单元（30）并对第2板单元（30）进行冷却的第2制冷机（28）。第1板单元（26）远离第2板单元（30）而配置。 | ||
| 搜索关键词： | 控制 方法 | ||
【主权项】：
一种冷阱，其具备能够独立控制的多个冷却单元，且配置于将排气对象容积与真空泵连接的排气流路内，其特征在于，各冷却单元包括：板单元，其露出配置于所述排气流路；及制冷机，其与所述板单元热连接并对所述板单元进行冷却，各冷却单元的板单元与其他冷却单元的板单元远离配置。
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