[发明专利]一种硅基光波导集成光电探测器

摘要

本发明公开的一种硅基光波导集成光电探测器。叠在第一硅衬底上的第一平板波导和第一脊型波导，第一平板波导上的多排通孔分布在第一脊型波导两侧，多排通孔下方的第一硅衬底有空腔，形成隔离衬底泄漏的空气隔离区，构成无源输入光波导；叠在第二硅衬底上的第二平板波导和第二脊型波导，第二平板波导上的两个开孔分布在第二脊型波导两侧，以及位于开孔内且与第二硅衬底接触的金属电极，构成有源光吸收区域；无源输入光波导和有源光吸收区域通过对准的第一脊型波导、第二脊型波导相连接。本发明仅需要简单的光波导结构，便于与其他集成光波导器件集成、易于扩展实现阵列化，有利于实现集成化、小型化、便携式、低成本的光电探测接收系统。

主权项

一种硅基光波导集成光电探测器，其特征在于：包括无源输入光波导(1) 和有源光吸收区域（2）；其中：无源输入光波导（1）：包括第一硅衬底（11），叠在第一硅衬底上的第一平板波导（12），叠在第一平板波导上的第一脊型波导（13），第一平板波导（12）上的多排通孔（14）分布在第一脊型波导（13）两侧，多排通孔（14）下方的第一硅衬底有空腔，在第一平板波导与第一硅衬底之间形成隔离衬底泄漏的空气隔离区（15）；有源光吸收区域（2）：包括第二硅衬底（21），叠在第二硅衬底上的第二平板波导（22），叠加于第二平板波导上的第二脊型波导（23），第二平板波导（22）上的两个开孔（25）分布在第二脊型波导（23）两侧，以及位于开孔（25）内且与第二硅衬底（21）接触的金属电极(24)；无源输入光波导（1）和有源光吸收区域（2）通过对准的第一脊型波导（13）、第二脊型波导（23）相连接。