[发明专利]位移测量系统

摘要

本发明提供一种位移测量系统，主要包括：一激光器，用以输出双频激光；一数据采集及处理单元，用以接收激光器输出的干涉激光并进行数据处理；其中，进一步包括一回馈单元，所述回馈单元包括一第一反射镜及第二反射镜相对且间隔设置，所述第一反射镜具有一第一表面以直接接收入射激光，所述第一表面具有多个沿同一方向并排延伸的第一凹槽；所述第二反射镜具有与所述第一表面面对的第二表面，所述第二表面包括多个沿同一方向延伸的第二凹槽；一第三反射镜，所述激光器输出的激光在所述多个第一凹槽及多个第二凹槽之间多次反射后，入射至所述第三反射镜，经过所述第三反射镜反射后沿原光路返回激光器中形成激光回馈。

主权项

一种位移测量系统，主要包括：一激光器，用以输出双频激光；一数据采集及处理单元，用以接收激光器输出的干涉激光并进行数据处理；其特征在于，进一步包括一回馈单元，所述回馈单元包括：一第一反射镜，所述第一反射镜具有一第一表面以直接接收入射激光，所述第一表面具有多个沿第一方向延伸的第一凹槽，每一第一凹槽包括垂直的一第一侧面以及一第二侧面；一第二反射镜与所述第一反射镜相对且间隔设置，所述第二反射镜具有与所述第一表面面对的第二表面，所述第二表面包括多个沿第一方向延伸的第二凹槽，每一第二凹槽包括垂直的一第三侧面以及一第四侧面；以及一第三反射镜设置在所述第一反射镜一侧，且面对所述第二反射镜设置，激光器输出的激光直接入射至所述第一反射镜，经过所述第一反射镜的多个第一凹槽及第二反射镜的多个第二凹槽之间多次反射后，入射至所述第三反射镜，经过所述第三反射镜反射后沿原光路返回激光器中形成激光回馈。