[发明专利]一种多晶硅绒面结构及其制绒方法

摘要

本发明公开了一种多晶硅绒面结构及其制绒方法，多晶硅片的正面表面有：具有均匀分布的孔洞的制绒区，以及与太阳能硅电池正面银电极相对应的、具有平滑表面的非制绒区。本发明的多晶硅绒面结构降低了由于酸腐制绒造成的多晶硅表面缺陷对后续扩散、电极印刷和接触性能的影响，特别是避免了正面银电极正下方区域的酸腐刻蚀，提高了银电极印刷区域的表面平整度，减少了该区域缺陷，不仅使得银电极浆料的印刷性能得到提高，还加强了银电极同硅片的接触性，降低了接触电阻。同时，使得该区域的扩散更加均匀，降低了该区域的载流子复合。

主权项

一种多晶硅绒面结构，其特征在于多晶硅片（1）的正面表面有：具有均匀分布的孔洞（21）的制绒区（2），以及与太阳能硅电池正面银电极相对应的、具有平滑表面的非制绒区（3）。