[发明专利]分选器以及检查装置

摘要

本发明提供一种分选器以及检查装置。本发明的分选器具有支承部；保持IC芯片的保持部；以及位置变更机构部，该位置变更机构部设置于支承部与保持部之间对保持于保持部的IC芯片相对于支承部的位置进行改变。另外，位置变更机构部具有设置成能够沿规定方向移动的二维移动部；设置成能够相对于二维移动部进行转动的转动部；以及使二维移动部相对于支承部移动的压电促动器。

主权项

一种分选器，其特征在于，具有：保持部，其保持电子元件；基体部，其配置在与所述保持部分离的位置并使所述保持部移动；以及位置变更机构部，其至少一部分设置于所述基体部与所述保持部之间，能够对保持于所述保持部的所述电子元件相对于所述基体部的位置进行变更，所述位置变更机构部具备：二维移动部，其能够相对于所述基体部而沿第一方向以及与所述第一方向交叉的第二方向移动；转动部，其设置成能够相对于所述二维移动部进行转动；以及压电促动器，其使所述二维移动部相对于所述基体部移动，所述二维移动部具有：第一移动部，其设置成能够沿所述第一方向移动；以及第二移动部，其设置成能够沿所述第二方向移动，所述位置变更机构部具有：第一压电促动器，其使所述第一移动部移动；第二压电促动器，其使所述第二移动部移动；以及转动部用压电促动器，其使所述转动部转动，所述二维移动部形成为将所述基体部与所述保持部连结的柱状，所述第一压电促动器、所述第二压电促动器以及所述转动部用压电促动器形成为板状，所述第一压电促动器、所述第二压电促动器以及所述转动部用压电促动器设置成各自的板状面沿着所述二维移动部的所述柱状的侧面。