[发明专利]沿着导电线的侧壁间隔物无效
| 申请号： | 201280053890.1 | 申请日： | 2012-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN104024143A | 公开（公告）日： | 2014-09-03 |
| 发明（设计）人： | 乔瓦·何;钟帆 | 申请（专利权）人： | 高通MEMS科技公司 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;G02B6/00 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 宋献涛 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供用于具有沿着导电线的至少一个侧壁的侧壁间隔物的机电系统装置的系统、方法及设备。一种机电系统装置可包含沿着可移动层下方的导电线的至少一个侧壁的侧壁间隔物。所述侧壁间隔物可为斜面的使得所述侧壁间隔物具有远离所述可移动层下方的衬底减小的宽度。所述导电线可经配置以将电信号路由到所述机电系统装置。在一些实施方案中，机电系统装置的黑色掩模结构可包含所述导电线。 | ||
| 搜索关键词： | 沿着 导电 侧壁 间隔 | ||
【主权项】：
一种包括机电系统装置的设备，所述机电系统装置包含：衬底；导电线，其在所述衬底上方；可移动层，其比所述导电线更远离所述衬底；及侧壁间隔物，其沿着所述导电线的至少一个侧壁，其中所述侧壁间隔物为斜面的使得所述侧壁间隔物具有远离所述衬底减小的宽度。
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