[发明专利]除膜方法、除膜用喷嘴和除膜装置有效
| 申请号： | 201280020525.0 | 申请日： | 2012-04-11 |
| 公开（公告）号： | CN103492089A | 公开（公告）日： | 2014-01-01 |
| 发明（设计）人： | 五十川良则 | 申请（专利权）人： | 龙云株式会社 |
| 主分类号： | B05D3/10 | 分类号： | B05D3/10;B05C11/10;B05C5/02 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 权太白;谢丽娜 |
| 地址： | 日本冈山*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 高效地溶解除去干状态的膜。本发明的除膜方法使喷嘴头(10B)接近在基板(200)上形成的溶解性的膜(201)，从喷嘴头(10B)连续地喷出药液(300)并同时吸入药液(300)，从而在喷嘴头(10B)与膜(201)之间形成药液的积液(302)，并且在喷嘴头(10B)与膜(201)表面为非接触的状态下使基板(100)水平移动，从而使药液的积液(302)在基板(100)上相对地移动。 | ||
| 搜索关键词： | 方法 喷嘴 装置 | ||
【主权项】：
一种除膜方法，其中，使喷嘴头接近在基板上形成的溶解性的膜，从该喷嘴头连续地喷出药液并同时吸入药液，从而在所述喷嘴头与所述膜之间形成所述药液的积液，并且在所述喷嘴头与所述膜表面为非接触的状态下使所述基板水平移动，从而使所述药液的积液在所述基板上相对地移动来除去所述膜。
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