[实用新型]准分子激光整形均束装置有效
| 申请号： | 201220748699.6 | 申请日： | 2012-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN203149208U | 公开（公告）日： | 2013-08-21 |
| 发明（设计）人： | 蒋毅坚;靳羽华;赵艳 | 申请（专利权）人： | 北京工业大学 |
| 主分类号： | G02B27/09 | 分类号： | G02B27/09;B23K26/06;B23K26/073 |
| 代理公司： | 北京思海天达知识产权代理有限公司 11203 | 代理人： | 魏聿珠 |
| 地址： | 100124 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种准分子激光整形均束装置，属于激光加工及其应用技术领域。包括依次布置的第一微透镜阵列（1）,第二透微镜阵列（2），球面傅立叶透镜（3），聚焦靶面（4），所述的第一微透镜阵列（1）、第二透微镜阵列（2）、球面傅立叶透镜（3）、聚焦靶面（4）固定在在滑动机械槽（5）内。该装置具有同时对准分子激光进行整形和均束的能力，可以很大的扩展准分子激光的应用领域。 | ||
| 搜索关键词： | 准分子激光 整形 束装 | ||
【主权项】：
一种准分子激光整形均束装置，其特征在于：包括依次布置的第一微透镜阵列（1）,第二透微镜阵列（2），球面傅立叶透镜（3），聚焦靶面（4），所述的第一微透镜阵列（1）、第二透微镜阵列（2）、球面傅立叶透镜（3）、聚焦靶面（4）固定在在滑动机械槽（5）内。
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