[实用新型]一种绝对光栅尺测试平台

摘要

本实用新型是一种绝对光栅尺测试平台。包括有用于采集光栅条纹的COMS传感器、光学聚焦镜、COMS目镜、平行光源、光栅尺支架、双光栅条光栅尺、光栅尺支架、移动平台、直线滑轨、直线推进装置、步进电机、基座，其中步进电机、直线推进装置、直线滑轨组成直线运动系统，COMS传感器、光学聚焦镜、COMS目镜、平行光源和双光栅条光栅尺组成图像处理的采样系统。本实用新型提高了编码测量的精度和可靠性，可以实现精确定位。本实用新型的绝对光栅尺测试平台高精度、高控制性、高可靠性。本实用新型通过双编码条加光学放大的结构，且通过合理可靠的图像分析，加以闭环控制，使得光栅尺移动性、可靠性、精确性大幅度提升。

主权项

一种绝对光栅尺测试平台，其特征在于包括有用于采集光栅条纹的COMS传感器（1）、光学聚焦镜（2）、COMS目镜（3）、平行光源（4）、光栅尺支架（5）、双光栅条光栅尺（6）、光栅尺支架（7）、移动平台（8）、直线滑轨（9）、直线推进装置（10）、步进电机（13）、基座（14），其中步进电机（13）、直线推进装置（10）、直线滑轨（9）组成直线运动系统，COMS传感器（1）、光学聚焦镜（2）、COMS目镜（3）、平行光源（4）和双光栅条光栅尺（6）组成图像处理的采样系统，用于采集光栅条纹的COMS传感器（1）固定在COMS传感器支架（5）的上端，平行光源（4）固定在COMS传感器支架（5）的下端，光学聚焦镜（2）、COMS目镜（3）组成光学放大系统，光学聚焦镜（2）、COMS目镜（3）置于能提供平行光的平行光源（4）的上方，COMS传感器（1）置于能采集到经光学聚焦镜（2）、COMS目镜（3）放大的图像信息的位置上，双光栅条光栅尺（6）装设在光栅尺支架（7）上，且双光栅条光栅尺（6）置于光学聚焦镜（2）与平行光源（4）之间，COMS传感器支架（5）装设在移动平台（8）上，且移动平台（8）置于滑轨（9）上，滑轨（9）及光栅尺支架（7）装设在基座（14）上，直线滑轨（9）与直线推进装置（10）的从动件连接，直线推进装置（10）的主动件与步进电机（13）的输出轴连接。