[实用新型]一种曝光机基台的清洗装置有效
申请号: | 201220704080.5 | 申请日: | 2012-12-18 |
公开(公告)号: | CN202951681U | 公开(公告)日: | 2013-05-29 |
发明(设计)人: | 肖磊;卜斌;邓世刚;陈一民 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司 |
主分类号: | B08B7/04 | 分类号: | B08B7/04;B08B1/00;B08B3/08 |
代理公司: | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人: | 黄志华 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型涉及设备清洗技术领域,公开了一种曝光机基台的清洗装置。包括:固定架,固定在曝光机上;安装于固定架上的清洗耙本体,清洗耙本体具有容纳清洗液的容腔以及连通容腔的开口;密封开口的塞盖;位于清洗耙本体的清洁面上的海绵,以及一端与容腔连通、且将容腔内的清洗液引至海绵的导液通道;包裹海绵的无尘布。上述清洗装置在使用时,避免了操作人员手拿沾有清洗液的无尘布去清洗曝光机基台,且清洗装置清理曝光机基台过程中,曝光机的门是关闭的,挥发出的清洗液中的工业酒精将被曝光机空气过滤系统清除。所以,上述曝光机基台的清洗装置,减少操作人员与清洗液直接接触,从而保证操作人员的人身安全。 | ||
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【主权项】:
一种曝光机基台的清洗装置,其特征在于,包括:固定架,固定在所述曝光机上;安装于所述固定架上的清洗耙本体,所述清洗耙本体具有容纳清洗液的容腔以及连通所述容腔的开口;密封所述开口的塞盖;位于所述清洗耙本体的清洁面上的海绵,以及一端与所述容腔连通、且将所述容腔内的清洗液引至所述海绵的导液通道;包裹所述海绵的无尘布。
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