[实用新型]晶圆盒把手

摘要

本实用新型是关于一种晶圆盒把手，其设置于一晶圆盒并包含一本体与一握持部，该本体设置于该晶圆盒的一外表面，并具有一第一表面及与该第一表面相对的一第二表面，且该第一表面朝向该外表面，该握持部设置于该本体的该第二表面；其中，该握持部具有一下表面，且该下表面为一平面，该本体的该第一表面并设置至少一抵持凸点，该抵持凸点抵接于该晶圆盒的该外表面；透过本实用新型的实施，可使机械手臂前端的感应器对该握持部的感应效果较佳，且可分散该晶圆盒把手以及该晶圆盒把手与该晶圆盒连接处承受的应力，避免该晶圆盒把手受损。

主权项

一种晶圆盒把手，其特征在于，设置于一晶圆盒上，该晶圆盒把手包含： 一本体，其设置于该晶圆盒的一外表面，并具有一第一表面及与该第一表面相对的一第二表面，该第一表面朝向该外表面；及 一握持部，其设置于该本体的该第二表面，该握持部具有一下表面，且该下表面为平面。