[实用新型]一种基于VUV灯电离源的静电透镜装置有效
| 申请号： | 201220664219.8 | 申请日： | 2012-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN202948899U | 公开（公告）日： | 2013-05-22 |
| 发明（设计）人： | 李海洋;赵无垛;陈平;花磊;陈文东 | 申请（专利权）人： | 中国科学院大连化学物理研究所 |
| 主分类号： | H01J49/06 | 分类号： | H01J49/06;H01J49/04 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人： | 马驰 |
| 地址： | 116023 *** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种基于VUV灯电离源的静电透镜装置，主要由离子聚焦透镜，skimmer电极和离子传导透镜组成。离子聚焦透镜对电离区的离子进行收集并聚焦通过skimmer电极。在传导透镜的作用下，经过skimmer的离子被调节后传输到真空室。skimmer电极的小孔不仅对进入电离区的离子进行了筛选，同时使电离区筒上端和下端的气压相差1~3个数量级，提高了仪器的灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 vuv 电离 静电透镜 装置 | ||
【主权项】：
一种基于VUV灯电离源的静电透镜装置，其特征在于：包括二端开口的中空筒状的电离区筒（1），于电离区筒（1）内沿轴向依次设置有离子聚焦透镜（4）、skimmer电极（5）、离子传导透镜（6）和整形电极（11）；于电离区筒（1）的中部径向设有中部带有通孔的隔板，隔板将电离区筒（1）分成上、下二个腔室，skimmer电极（5）放置于隔板上，skimmer电极（5）与隔板上的通孔同轴；于电离区筒（1）的上开口端设有一盖板(2)，盖板(2)的中部设置有电离源的紫外光入射孔或入射窗；于靠近上开口端的电离区筒（1）的侧壁上设置有进气口（12）；于电离区筒（1）的下开口端设有一真空室（9），真空室（9）与电离区筒（1）相连接处设有通孔，真空室（9）通过通孔与电离区筒（1）的下开口端相连通；整形电极（11）覆盖于真空室（9）的通孔上方；真空室（9）与外界的真空泵相连。
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