[实用新型]一种压力传感器芯体有效
| 申请号： | 201220617534.5 | 申请日： | 2012-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN202928730U | 公开（公告）日： | 2013-05-08 |
| 发明（设计）人： | 袁晓斌;陈龙;张妮妮;刘秀娥 | 申请（专利权）人： | 西安微纳传感器研究所有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/16 | 分类号： | G01L1/16;G01L9/08;G01L19/14 |
| 代理公司： | 西安西交通盛知识产权代理有限责任公司 61217 | 代理人： | 申美鹃 |
| 地址： | 710054 陕西省西安市雁塔区*** | 国省代码： | 陕西;61 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及一种压力传感器芯体，包括圆柱状的壳体，在所述壳体的上端设置有水平凹槽，所述水平凹槽内焊接有SOI芯片。该芯体采用SOI芯片与壳体结合的方式，其结构简单，容易加工，且能够保证加工及测量精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 压力传感器 | ||
【主权项】：
一种压力传感器芯体，其特征在于，包括圆柱状的壳体（1），在所述壳体（1）的上端设置有水平凹槽（4），所述水平凹槽（4）内焊接有SOI芯片（2）。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于西安微纳传感器研究所有限公司，未经西安微纳传感器研究所有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201220617534.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：再生纸造纸零排放循环用水系统
- 下一篇：一种高压母线温度监控装置
